可配置液體或氣體樣品
可實現標樣加濕功能
兩級高精度MFC控制
稀釋比高
全自動運行，直接讀取濃度，ppm，ppb或ppt
可針對不同用戶的稀釋要求定制產品
APK6100E半導體行業超高純(特種)氣體稀釋系統，是一款具有高精度高稀釋比的升級產品，可稀釋2到15種不同氣體，稀釋比可達到1:10000，二級稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用于傳感器生產商，半導體生產商的產品測試及科研院所的科學研究。可根據用戶要求定制。
儀器特點
苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;
帶有加濕功能，可控制稀釋后氣體濕度
高精度質量流量計（MFC），配制氣體濃度精準
可選配液體標樣稀釋模塊
儀器功能
1、單一/混合氣體配制
通過質量流量控制器（MFC）順序連接兩種或多種標準氣體，如順序稀釋或產生混合氣體?？梢詥为毾♂尪喾N標準氣體，也可以通過同時稀釋多種的標準氣體來產生混合氣體。
2、蘇瑪罐罐沖
該系統配備了壓力傳感器，以精確的壓力將稀釋氣體引入罐中。
3、控制溫度和濕度
自動調節溫度和濕度，在各種條件下連續產生氣體。
4、液體標樣氣化稀釋
可選配液體標樣稀釋模塊
5、顆粒物發生裝置
可選配顆粒物發生裝置，模擬各種工況
以上功能均可根據客戶實際需求組合定制。
應用：
傳感器生產商
半導體生產商
科研院所
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